取扱製品

弊社は、エレクトロニクス分野向けに様々な産業ガスや素材を生産する韓国第3位の財閥企業 SK specialty社の日本法人となります。
日本では、半導体及びディスプレイを製造するお客様に「三フッ化窒素」「モノシラン」「ジクロロシラン」「六フッ化タングステン」を販売しています。

三フッ化窒素（NF3）は 半導体、ディスプレイ、太陽電池の製造工程で使用され、CVD工程後、チャンバー内部の残留物を除去するために使われます。現在、三フッ化窒素はグローバル市場占有率40%で世界1位を占めています。

モノシラン（SiH4）も 半導体、ディスプレイ、太陽電池の製造工程で使用され、Si絶縁膜、Si反射防止膜の形成に使われます。

ジクロロシラン（DCS）は 半導体の製造工程において、窒化膜（SixNy）蒸着時に使われます。

六フッ化タングステン（WF6）は 半導体製造工程でMetal Contact及びGateの形成するために使われます。

弊社の製品はお客様のご要望に応じて3種類のシリンダー、カードル、ISOコンテナの3種類の容器で供給しています。

第一種貯蔵所（高圧ガス貯蔵）、保税蔵置場、高圧ガス輸入代行

弊社は「高圧ガス第一種貯蔵所」「毒物劇物販売業、輸入業」に加えて、「保税蔵置場」、「倉庫業」、「第一種貨物利用運送業」の許可を有しており、自社貨物だけでなく他社貨物もお取扱い可能です。輸出入の拠点としている四日市港は、当社が初の高圧ガス輸出入事例となり、手続きや運用面でのノウハウを日々蓄積しております。

四日市港での高圧ガス輸出入及び高圧ガスの保管、配送手配を行うことが可能ですので、これらの業務にお困りでしたらお気軽にお問合せください。

高圧ガス保管



● 47L シームレスシリンダー（高圧ガス用）
● 40L 溶接シリンダー（非高圧ガス用）



● 47Lシリンダー20本組



● 20フィート
● 40フィート

荷役作業

高圧ガス輸入代行